龍華倉庫自提TOKYOKEISO東京計裝 節省空間的液體超聲波流量計 UCUF-M系列
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龍華倉庫自提TOKYOKEISO東京計裝 節省空間的液體超聲波流量計 UCUF-M系列
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龍華倉庫自提TOKYOKEISO東京計裝 節省空間的液體超聲波流量計 UCUF-M系列
UCUF-M系列液體用超聲波流量計是為超純水和各種化學液體的小規模流量測量而設計的流量計，由UCUF-M型檢測器和SFC型傳感器組成。 UCUF探測器的所有接液部件均由半導體工業用PFA制成，沒有工作部件，也沒有O形圈等容易積液的機械密封。 由于其理想的清潔結構，它是半導體設備等需要清潔度的過程的理想流量計。 SFC傳感器顯著減少了對流體中氣泡的影響，這在半導體工藝和化學工藝中一直是一個問題。 為了響應各種化學溶液，它配備了校正功能，可以消除流體動力學和粘度的影響。 DIN導軌安裝類型是節省空間的理想選擇。 由于 RS485 通信，可以進行集中式過程管理。 （有關詳細信息，請參閱換能器技術指南。 )
特征
· EMC標準：EN61326-1
· 符合 RoHS 規范
· 統一連接管間距 80 mm
· 測量高達 40 mm2/s 的高粘度流體
· 精度在讀數值的 ±1% 以內（流速大于 1 m/s 時）
· 寬范圍 abiridi （典型值 100 ： 1）
· 理想的清潔結構檢測器
· 耐腐蝕，易于安裝
主要應用
· 半導體制造過程中純水和超純水的流量測量
· 各種化學品注入過程的流量測量
· 高腐蝕性液體的流量測量
· CMP漿料流量測量
· 其他、小口徑~中口徑工藝液體流量測量
· 適用于清洗設備和CMP設備的流量測量和控制
主要技術指標
探測器規格
測量目標 一般液體 口徑 2.5 ? 20毫米 流量范圍 最大：18.8 ~ 80 L/min 最小
：0 ~ 0.025 L/min流體溫度 10 ~ 90°C 流體壓力 0.5 MPa 以下 過程連接 PFA 管端 測量精度 ±1.0%（流速1m/s以上）