KOFLOC科賦樂 質量流量控制器HFC-303 SERIES適用于高流量
KOFLOC科賦樂 質量流量控制器HFC-303 SERIES適用于高流量HFC-303是一種質量流量控制器,通過結合電磁式先導閥和為大流量控制開發的氣動流量控制閥,可實現大流量的高精度氣體控制,這在過去很難實現。作為HFC-203系列的后續產品,HFC-203系列已廣泛應用于工業領域,是一種新型號,可實現更高的精度和高速響應。采用兩級控制閥,支持高達1000 SLM的高流量即使流量大,也能實現±
KOFLOC科賦樂 質量流量控制器HFC-303 SERIES適用于高流量HFC-303是一種質量流量控制器,通過結合電磁式先導閥和為大流量控制開發的氣動流量控制閥,可實現大流量的高精度氣體控制,這在過去很難實現。作為HFC-203系列的后續產品,HFC-203系列已廣泛應用于工業領域,是一種新型號,可實現更高的精度和高速響應。采用兩級控制閥,支持高達1000 SLM的高流量即使流量大,也能實現±
KOFLOC科賦樂 質量流量控制器HFC-303 SERIES適用于高流量
HFC-303是一種質量流量控制器,
通過結合電磁式先導閥和為大流量控制開發的氣動流量控制閥,
可實現大流量的高精度氣體控制,這在過去很難實現。
作為HFC-203系列的后續產品,HFC-203系列已廣泛應用于工業領域,是一種新型號,可實現更高的精度和高速響應。
采用兩級控制閥,支持高達1000 SLM的高流量
即使流量大,也能實現±1.0%的高精度
確保傳統型號的高速響應性能
如果流量超過1000 SLM,請與我們聯系
流量范圍 (N2轉換20°C / 1 ATM) | 100?300 SLM(可選) | 301?1000 SLM(可選 | |
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傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | ||
閥門方式 | 比例螺線管閥門(未通電時關閉) | ||
控制范圍 | 2~100%(F.S.) | 5~100%(F.S.) | |
準確性 | ±1%F.S.(25°C) | ||
溫度系數 | 0.1%F.S./°C(15~35°C) | 0.2%F.S./°C(15~35°C) | |
再現性 | ±0.25%F.S. | ||
壓差 | 個人反應 | ||
耐壓 | 3.4MPa(G)(HP選項6.8MPa(G)) | ||
He泄漏率(* 1) | 1 x 10-7 Pa.m3/s以下 | ||
允許周圍溫度 | 5~45℃ | ||
允許環境濕度 | 10~90%RH(無結露) | ||
氣體接觸材料 | 主體SUS316,Ni,SUS302 | ||
隔膜FKM | |||
閥座FKM | |||
密封材料FKM(選件CR,Kallets) | |||
電氣連接 | Dsub 15針 | ||
流量設定 輸入信號 | 0~5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上) | ||
流量輸出信號 | 0~5 VDC(外部負載電阻250kΩ以上) | ||
所需電源 | +15 VDC(±5%)150 mA, -15 VDC(±5%)300 mA | ||
配件(車身尺寸) | 標準1/2 SWL(3 / 4.16 UNF) | 標準3/4 SWL(1.1 / 16.12 UNF) |