KOFLOC科賦樂 數(shù)字質(zhì)量流量控制器MODEL DF-350C SERIES流量計
日本KOFLOC科賦樂 MODEL DF-300氣體質(zhì)量流量計
DF-350系列是一款數(shù)字質(zhì)量流量控制器,
以DF-250系列50 SLM以下規(guī)格為基準,與DC24V電源兼容。
50SML以下的規(guī)格高速響應(yīng)(全范圍1秒內(nèi))
10SCCM~50SLM序列
標準配備通訊功能(RS485)
支持RoHS.CE規(guī)格
可選擇有無顯示屏
可選輸入/輸出信號
傳感器方式 | 熱繞組傳感器 |
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閥門方式 | 比例電磁閥(未通電時關(guān)閉) |
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目標氣體(* 1) | N2,空氣,H2,He,Ar,O2,CO2等 (未記載的氣體換算成N2進行校正) |
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流量范圍(* 2) | 10 SCCM~10 SLM | 20~50SLM (CO2:20~30 SLM) |
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控制范圍 | 2~100%(F.S.) |
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響應(yīng)速度 | 總流量控制范圍 1sec內(nèi)(wihtin±2%F.S.) |
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L:50kPa~149kPa H:150kPa~300kPa |
精度(* 3) | ±1.0%F.S. |
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再現(xiàn)性 | ±0.25%F.S. |
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動作壓差(* 4) | 50~300 kPa(Ar,CO2:100~300 kPa) | 100~300 kPa(Ar,CO2:150~300 kPa) |
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最大入口壓力 | 500kPa(G) |
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耐壓 | 980kPa(G) |
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He泄漏率(* 5) | 1 x 10-8 Pa·m3 / sec以下 |
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溫度 | 使用溫度 | 5~50℃ |
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精度保證溫度 | 15~35℃ |
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允許儲存溫度 | -10~60℃ |
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允許工作濕度 | 10~90%RH (無結(jié)露) |
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氣體接觸材料 | SUS316、SUS316L、磁性不銹鋼、Ni、PTFE、PCTFE、FKM |
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電氣連接 | D-sub 15引腳 公頭 高密度型,HR-10A×2 |
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流量設(shè)定信號 | 0~5 VDC(輸入電阻:約1MΩ)or4~20mA(輸入電阻:約250Ω) |
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流量輸出信號 | 0~5 VDC(負載電阻:10kΩ以上)or4~20mA(負載電阻:500Ω以下) |
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數(shù)字通信 | 使用RS485旋轉(zhuǎn)開關(guān)或顯示屏設(shè)置地址:最多99臺(9600 bps) |
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活動輸入 | 接點輸入×3個(非絕緣) |
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活動輸出 | NPN開路集電極×3個(非絕緣,最大額定值35 V,50 mA) |
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所需電源(DC) | + 24VDC(±10%)300mA以下(DC插孔.D-sub) |
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接頭(* 6) | 1 / 4F 900(標準),1/4 UJR,Rc1 / 4 |
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安裝姿勢 | 推薦水平方向 |
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重量(* 9) | 約950g | 約1100g |
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