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電容式非接觸測厚儀

CL-5610系列

• 非接觸式測厚儀產品概述

• FAQ（常見問題）

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• 產品目錄 (PDF)

• 特征

• 測量方法

• 測量示例

• 外形規格

• 選項

CL-5610/5610S是一款非接觸測厚儀，通過與Gap Detector VE系列傳感器連接，測量導體、半導體和絕緣體的厚度。最多可連接兩個 VE 系列傳感器。它還可以用作 2ch 間隙測量儀。

CL-5610內置傳感器放大器，VE傳感器直接與測厚儀相連。適用于桌面離線測量（傳感器與主機之間的線纜為1.5m，不可延長）。

CL-5610S 具有獨立的傳感器放大器，與 VE 傳感器和測厚儀主體分開使用。主機和外部放大器之間的標準電纜長度為 2.5 m，并且可以選擇延長至 10 m。這適用于傳感器安裝位置與測厚儀主體分開的情況，例如當它內置于設備中時。

特征

豐富的測量項目
可以測量厚度和間隙。此外，還可以分別顯示偏差值、最大值、最小值和最大寬度值（最大-最小值）。

除了導體和半導體，還可以測量絕緣體的厚度。CL
-0300 絕緣體測量功能（可選）可讓您測量塑料薄膜和玻璃板等絕緣體的厚度。

即使對于不完全導通的樣品也可以穩定地測量厚度將樣品放在涂有氟基薄膜的工作臺上時，很難在樣品和主體之間建立電導通（常見）。
迄今為止，必須通過大面積接觸樣品來確保穩定性，但 CL-0210 高阻抗接地模式功能（可選）可以減少該面積。此外，可以在相同面積內確保更高的穩定性。

高分辨率計算功能選件（CL-0200）*1
*1：使用 VE-2011/5010/5011 時，可實現 0.02 μm 的最小顯示分辨率。VE-5010/5011 適用于使用 CL-0201 測量范圍變更選件將測量范圍設置為 20 至 200 μm 的情況。

最多可保存6個傳感器校準值

CL-5610系列最多可存儲6個傳感器校準信息，因此您可以根據測量范圍和分辨率選擇和使用最合適的傳感器。

數據可以連續采集到 PLC 或 PC

提供三種類型的數據輸出功能：模擬電壓輸出、BCD 輸出和RS-232C。可根據客戶的錄音設備選擇輸出方式。模擬輸出和 BCD 輸出可以以 20 ms 的數據更新間隔檢索數據。通過邊移動樣品邊測量，還可以測量檢測片材厚度不均所需的連續厚度值。

*模擬輸出需要輸出功能選件（CL-0110），BCD輸出需要BCD輸出功能選件（CL-0120） 。

該設備可以外部控制

對于制造和檢查線等的自動測量，需要從外部控制本儀器。CL-5610 標配觸點控制端子和 RS-232C 端子，因此可以通過 PLC 或 PC 輕松控制。

比較器功能（安裝CL-0110輸出功能選件時）可用于在線異常值監測

* 除上述測量樣品外，如需測量中間材料和復合材料，請與我們聯系。

測量方法

外形規格

測量對象	導體、半導體、絕緣體*1 *1 需要 CL-0300 絕緣體測量功能選件。
傳感器輸入	2 通道（A、B）電容傳感器
測量項目	被測物的厚度（導體、半導體、絕緣體<option CL-0300>） 傳感器 A 和測量對象（導體、半導體）之間的間隙 (A) 傳感器 B 和測量對象（導體、半導體）之間的間隙 (B) A 和 B 之間的差異(A - B)
顯示模式	ABS：絕對厚度或間隙顯示 Dev：顯示相對于參考值的變化量 任意周期內（START期間）最大值（MAX）、最小值（MIN）、最大值-最小值（RANGE）
適用傳感器和顯示分辨率	結合新型VE系列電容式間隙檢測器，顯示分辨率如下。 傳感器類型 測量范圍 （μm） 分辨率（微米） 標準 安裝CL-0200 高分辨率計算功能選件 時 VE-2011 20 到 200 0.1 0.02 VE-5010 50 至 500 20 至 200 *1 0.1 0.05/0.02 *1 VE-5011 VE-1020 100 到 1000 0.1 0.1 VE-1021 VE-1520 150 至 1500 0.5 0.2 VE-3020 300 至 3000 1個 0.5 VE-3021 VE-8020 800 到 8000 2個 1個 VE-8021 *1: VE-5010/5011 可以使用 CL-0201 測量范圍更改選項指定 20 至 200 μm 的測量范圍。在這種情況下，安裝高分辨率選件時的顯示分辨率為 0.02 μm。 *測量絕緣體時，以測量范圍的 1/3 左右的厚度為基準。 例）使用VE-1020時，絕緣體的厚度約為350μm以下。
準確性	±0.15 %/FS（標準） ±0.12 %/FS（安裝 CL-0200 高分辨率計算功能選件 <VE-8020/8021 除外>）
精度保證溫度范圍	23°C ± 2°C
展示	熒光顯示管 測量結果顯示可在1項（大寫）和2項（小寫）之間切換。
參數設置	測量和計算所需的各種參數通過面板上的各種按鍵設置在內存中。即使關閉電源，這些設置值也會被斷電記憶記憶。
采樣時間	20毫秒
平均	移動平均線：1至64倍
界面	RS-232C：允許遠程控制儀器和獲取測量數據。可以打印到 DPU-414 打印機（單獨出售）
BCD輸出功能 （選購件：CL-0120）	測量結果6位并行BCD輸出 輸出方式：集電極開路輸出 輸出數據：GAP-A、GAP-B、THICK、AB、DISP2 數據從顯示值中選擇更新時間：20ms 連接電纜：AA-8207（ 3 m，一側開口）
遙控功能	可以進行計算功能的啟動/停止和厚度校準等外部操作。 ■遠程端子排針及輸入信號 A。 電源 當輸入 DC 5 至 24 V 或從外部電源提供 DC 6 V 或更高時，插入一個電阻器。 B. 開始 與開始鍵功能相同 C。 停止 停止數學模式 D. 暫停 與 PAUSE 鍵功能相同 E、 校準器 僅在使用注冊的測量對象參考片數據進行校準 時有效?僅導體測量 ?無法更改測量對象參考片的厚度 F。 開始狀態 在操作模式和操作中斷模式下切換到活動狀態。 G。 +5V輸出 輸出 +5 V（最大值：0.3 A） H。 常見的 連接 0 V *適用連接器：R03-PB8M（多治見無線制）
同步功能	多個 CL-5610/CL-5610S 單元可以并聯運行（1 臺主機最多 2 臺）*1
電源	交流電 100V 至 240V 50/60Hz
使用環境（僅限主機）	溫度：+23°C±2°C（保證精度范圍），0°C 至 +40°C（工作范圍） 濕度：20% 至 80% RH（無冷凝）
外形尺寸	210 (W) x 99 (H) x 275 (D) mm（CL-5610/5610S 主體，不包括突起） 56 ( W) x 42.4 (H) 122 (D) mm（CL-5610S 轉換器，突起）不包括）
大量的	約 4.2 kg（CL-5610/5610S 主機） 約 0.5 kg x 2（CL-5610S 的 CL-0420 轉換器）
價格	CL-5610： 662,000 日元（ 含稅 728,200 日元） CL-5610S： 819,000 日元（ 含稅 900,900 日元）

*1 需要在設備之間進行調整才能使用 SYNC 功能。如有需要，請另行咨詢。

選項

CL-0110輸出功能（模擬輸出、比較器輸出）

CL-0120 BCD輸出功能

CL-0200 高分辨率計算功能選項

CL-0210 高阻接地模式功能

CL-0300 絕緣子測量軟件選項

CL-015 晶圓滑臺（定做）

VE系列電容式間隙檢測器

標準型

φ10mm普通夾形型

類型名稱	VE-2011	VE-5011	VE-1021	VE-3021	VE-8021
測量范圍（μm）*1	20 到 200	50 到 500	100 到 1000	300 至 3000	800 到 8000
外型（毫米）*2	φ3	φ6	φ8	φ20	φ40
電纜長度	單獨出售 VL-1520/1521 電纜 (1.5m)
溫度系數	k1 = 1.7 x 10-5 , k2 = 3.4 x 10-5
工作溫度范圍*3	0 至 +80°C
價格	￥ 126,000 ( ￥ 138,600 含稅)	￥ 149,000 ( ￥ 163,900 含稅)	￥ 84,000 ( ￥ 92,400 含稅)	- 銷售結束 - （含稅 - 銷售結束 - ）	￥ 137,000 ( ￥ 150,700 含稅)

*1 測量范圍表示從傳感器邊緣到待測物體的最大間隙。
*2 被測物體的測量面的面積必須大于傳感器的外徑。
*3 工作溫度范圍是傳感器可以工作的溫度范圍，不是保證線性的溫度范圍。
為確保線性，請在 +23°C±2°C 的溫度下使用。VE系列的溫度特性請參考以下內容。

最后更新：22021/01/11