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FUJI富士

分密度計(專用機) FUD-1 Model-53

產品概覽在保持 FUD-1 Model-53 的優點(例如易于維護和高精度在線測量)的同時,該型號具有用于半導體制造過程的小電池型發射器。圖表FUD-1 Model-53內置電導率儀多組分密度計的特點3成分中的2成分濃度計端可以實時進行配備模擬 DC4 至 20mA(2 個系統)和數字 RS232C 作為標準設備標配測量誤差輸出和報警輸出標配自診斷功能和錯誤信息顯示小巧輕便的電池型變送器可直接安裝

產品概覽

在保持 FUD-1 Model-53 的優點(例如易于維護和高精度在線測量)的同時,該型號具有用于半導體制造過程的小電池型發射器。

圖表

FUD-1 Model-53內置電導率儀
多組分密度計(專用)

多組分密度計的特點

3成分中的2成分濃度計端可以實時進行

  • 配備模擬 DC4 至 20mA(2 個系統)和數字 RS232C 作為標準設備

  • 標配測量誤差輸出和報警輸出

  • 標配自診斷功能和錯誤信息顯示

  • 小巧輕便的電池型變送器可直接安裝在線路上

  • 接液部分材料采用PFA,小輸出設計對化學品無影響


優點

  • 可以進行高精度的連續測量

  • 免維護,無需定期調整或校準

  • 安裝方便,安裝時無需進行各種調整

  • 通過實時輸出輕松反饋過程


用法

  • CMP工藝中的CMP漿料和氧化劑濃度管理等

  • 清洗過程中的清洗液濃度管理(HF+HNO3、HF+H2SiF6等)

  • 刻蝕工藝中的刻蝕液濃度管理(TMAH+抗蝕劑、TMAH+Si等)




規格

模型FUD-1 Model-53
 轉換器
測量參數超聲波傳播速度/溫度/電導率
展示LCD(濃度1、濃度2、溫度、聲速、電導率/各種參數)
輸出信號模擬4~20mA DC:2個系統(濃度值可自由設定)
數字RS232C(濃度1、濃度2、聲速、溫度、電導率、錯誤代碼)
報警上下限測量誤差:2個系統
電源AC100V-240V 50/60Hz 30VA(也可使用24V DC)
結構面板安裝型(符合 DIN 標準)
環境溫度轉換器0 至 50°C
RH85%以下(無結露)
功能輸出量程設定功能、報警輸出設定功能、濃度顯示移動平均功能、濃度顯示偏置增益設定功能、自診斷功能、故障安全功能、異常值消除功能、溫度時間常數校正
選項溫度輸出(4 至 20mA DC)
RS485 輸出(不能與 RS232C 同時輸出)
通道(校準曲線)最大 7ch
兼容變送器示例SA-20S29+電導儀、SA-20S27+電導儀



 模型 發射機
SA-20S29+電導率儀
SA-20S27+電導率儀
 振動元件 壓電陶瓷(2MHz)x1壓電陶瓷(2MHz)x2
 測量元件 熱敏電阻熱敏電阻
 液體溫度 0 至 100°C 0 至 80°C
 結構 流通池 流通池
 接液部分材料 PFA/PFA涂層 粉煤灰
 聯合的 3/4 接頭(可更換) 3/4 接頭(可更換)
 耐壓性 0.3MPa 0.3MPa
 流速 5l/min(推薦) 5l/min(推薦)
 重量 2.5公斤 2.5公斤
 電纜 專用電纜 6m專用電纜 6m
 環境溫度 5 至 45°C 5 至 45°C


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