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產品概述:
● 緊湊型3D量測設備。
● 安裝移動迅速便捷。
● 適用于所有基板類型。
● 多樣化的應用選擇。
● 工業標準數據端口。
NanoFocus桌面輪廓儀
分辨率 | X & Y軸: 0.5-2.5um; |
---|---|
Z軸:0.016 um; | |
取樣率 | 20000 Hz |
工作距離 | 8 mm |
掃描寬度 | 630 um |
高度范圍 | 300 um – 400 um |
機臺尺寸 | 300mm x 200mm (可定制) |
產品概述:
● 緊湊型3D量測設備。
● 安裝移動迅速便捷。
● 適用于所有基板類型。
● 多樣化的應用選擇。
● 工業標準數據端口。
NanoFocus桌面輪廓儀
分辨率 | X & Y軸: 0.5-2.5um; |
---|---|
Z軸:0.016 um; | |
取樣率 | 20000 Hz |
工作距離 | 8 mm |
掃描寬度 | 630 um |
高度范圍 | 300 um – 400 um |
機臺尺寸 | 300mm x 200mm (可定制) |