易威奇氣動波紋管泵 FS-100HT2 IWAKI易威奇
通過高溫、大流量輸送，顯著提高清洗效率的波紋管泵。

現在可以在最高溫度180℃下以100L/min的最大流量進行輸送，與傳統的需要高溫輸送的化學溶液產品相比，預計循環流量可提高約1.8倍。

基本信息易威奇氣動波紋管泵 FS-100HT2

[顯著提高清潔效率]
改善的循環流量提高了顆粒、晶片表面的金屬污染物和有機污染物的去除效率，從而可以抑制由于電路圖案的小型化而導致的清潔時間的增加。

[無污染設計]
所有接液部件均由氟樹脂（PTEF、PFA）制成，可輸送半導體應用中使用的酸、堿和過氧化氫等化學溶液。
另外，泵的外周也涂有氟，因此沒有裸露的金屬。

[減輕重量]
通過優化零件形狀，與傳統產品相比，我們實現了約 30% 的重量減輕。