SONIC 三次元超音波風(fēng)向風(fēng)速計(制程品質(zhì)與環(huán)境風(fēng)場有關(guān))
2022-06-29 17:20:06
admin
制程品質(zhì)與環(huán)境風(fēng)場有關(guān)
設(shè)計理念
現(xiàn)代高科技工業(yè)廠房,制程環(huán)境的控管可以說是良率提升的關(guān)鍵之一,其設(shè)備、無塵室、實驗室、廠房除了考量自動件的精度、原料的品質(zhì)等等外,為了提升或維持良好的制程環(huán)境,而看不見的微弱風(fēng)場將是左右一個制程良率的隱憂,尤其以前瞻產(chǎn)業(yè)來看,例如電子產(chǎn)品最密不可分的晶圓制造過程中,若因為一個風(fēng)場改變而引起揚塵很有可能造成相當大的損失影響。
然而風(fēng)場的評估要如何用最簡單且不需接觸、不會污染環(huán)境、又能清楚呈現(xiàn)量測資訊的方式進行呢?
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有了精確數(shù)據(jù)會議不再千言萬語
機能1 以3D立體圖示,可清楚呈現(xiàn)量測環(huán)境的整體風(fēng)速、風(fēng)向及溫度指標。
機能2 在2D平面可點選任一量測點,即可呈現(xiàn)風(fēng)速、風(fēng)向及溫度精確數(shù)據(jù)。
機能3 可勾選想要呈現(xiàn)量測的數(shù)據(jù)即時曲線,以『風(fēng)速–時間』呈現(xiàn)。
機能4 以即時動態(tài)方式呈現(xiàn)環(huán)境的風(fēng)速及風(fēng)向,也可同步錄制,更確實掌握風(fēng)場變化。
機能5 量測的數(shù)據(jù)以CSV檔存取,可用Excel讀取并隨時取用。