易威奇化學(xué)補(bǔ)給泵CFD系列IWAKI易威奇

每次注射1mL，大大提高了點(diǎn)膠性能。

每次噴射 1mL，大大提高了點(diǎn)膠性能

Iwaki 推出了 Iwaki 化學(xué)品補(bǔ)充泵 CFD 系列。

■□■特點(diǎn)■□■ ■準(zhǔn)確注入所需的最少量的化學(xué)溶液，并能精確地

控制晶圓清洗液的濃度。
非常適合控制晶圓清洗液的濃度。它可以抑制濃度超調(diào)，還有助于降低清潔溶液的成本。

■優(yōu)異的耐腐蝕性
所有接液部件均采用氟樹(shù)脂（PTFE、PFA、PCTFE）制成，與強(qiáng)酸、強(qiáng)堿、過(guò)氧化氫等化學(xué)溶液兼容。
泵的外部采用樹(shù)脂和涂層螺栓。

■安全設(shè)計(jì)
以壓縮空氣為動(dòng)力的安全氣動(dòng)波紋管泵。
防虹吸機(jī)構(gòu)可防止化學(xué)溶液流出。
CFD-1T-B 標(biāo)配泄漏傳感器，可檢測(cè)波紋管損壞情況。

■排放量范圍廣
規(guī)格可靈活設(shè)定，覆蓋排放量范圍廣。
出廠設(shè)置為 CFD-1T-B：1mL/次，CFD-8T-B：8ml/次。

*如需了解更多信息，請(qǐng)下載 PDF 或隨時(shí)聯(lián)系我們。

基本信息易威奇化學(xué)補(bǔ)給泵CFD系列

【一般規(guī)格】
■型號(hào)：CFD-1T-B?CFD-8T-B
■最大吐出量：1mL/次?8mL/次
■供給氣壓：0.15～0.3MPa
■最大空氣消耗量：2.5NL/min注?5.4 NL/min注
■最大行程數(shù)：30spm
■主要材質(zhì)：PTFE、PFA、PCTFE
■液體溫度范圍：20～60℃
注：供給氣壓為0.3MPa時(shí)，行程數(shù)為30spm，排出壓力為0.05MPa

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